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淺析PECVD系統(tǒng)的工藝原理

PECVD系統(tǒng)主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護(hù)系統(tǒng)、計算機控制等部分組成。該技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。工藝原理：在反應(yīng)過程中，反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔，逐漸擴散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場作用下，反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解...

滑軌式管式爐淬火不充分引起變形

滑軌式管式爐是一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達(dá)到快速升溫的效果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。爐體采用MXG1200開啟式管式爐，爐底安裝有直線滑軌，當(dāng)生長結(jié)束后，左右拉動爐體能夠保證有足夠的空間使實驗樣品移出爐體，實現(xiàn)快速降溫的要求。性能特點：1、工作溫度RT-1000℃；2、日本進(jìn)口智能程序控溫儀控制精準(zhǔn)，可編...

壓力燒結(jié)爐的主要功能和特點

壓力燒結(jié)爐采用立式結(jié)構(gòu)由爐體、爐升蓋降機構(gòu)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)，溫控系統(tǒng)等組成。爐體采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，內(nèi)壁為16MnR壓力容器專用鋼，外層優(yōu)質(zhì)碳鋼，中間通水冷卻。爐內(nèi)發(fā)熱元件為石墨管，保溫元件為碳?xì)旨笆珡?fù)合結(jié)構(gòu)。爐側(cè)裝有一觀察孔、紅外測溫口、熱電偶孔。熱電偶選用鎢錸型，同時具有高溫時自動退出加熱區(qū)的功能。適用于氮化硅陶瓷球，陶瓷刀具、LED粉體還原與燒結(jié)、硬質(zhì)合金，粉末冶金燒結(jié)等材料在高壓氮氣或氬氣氣氛內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)，有利于增加材料的燒結(jié)密度，提高材料的機械性能。燒結(jié)工藝應(yīng)用：...

使用高溫管式爐時，容易忽略的幾個問題

高溫管式爐主要運用于冶金，玻璃，熱處理，鋰電正負(fù)極材料，新能源，LED發(fā)光材料，磨具等行業(yè)測定材料在一定氣氛條件下的專業(yè)設(shè)備。可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高。爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。高溫管式爐的結(jié)構(gòu)簡單，熱效率高，又能連續(xù)生產(chǎn)，并且操作方便，因此在冶金，玻璃，熱處理，新能源等的行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用，為了更好地使用，要注意使用規(guī)范，以下是根據(jù)相關(guān)工作人...

還不了解什么是PECVD系統(tǒng)？請看這里！

什么是PECVD系統(tǒng)？它是化學(xué)氣相沉積法，是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。它是一種PECVD（等離子體增強化學(xué)氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。化學(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮...

真空電阻爐的原理、應(yīng)用及發(fā)展趨勢

一、引言真空電阻爐是一種在真空環(huán)境下工作的電阻加熱設(shè)備，其工作環(huán)境使其在眾多工業(yè)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。本文將對真空電阻爐的原理、結(jié)構(gòu)、應(yīng)用、優(yōu)勢以及未來的發(fā)展趨勢進(jìn)行詳細(xì)的探討，以期為讀者提供全面而深入的認(rèn)識。二、真空電阻爐的原理與結(jié)構(gòu)原理真空電阻爐的工作原理主要是利用電流通過電阻體時產(chǎn)生的熱量來加熱工件。在真空環(huán)境下，由于氣體分子的數(shù)量大大減少，熱傳導(dǎo)和熱對流的方式受到抑制，從而減少了熱量的損失，提高了加熱效率。同時，真空環(huán)境還可以有效防止工件在高溫下被氧化或污染。結(jié)構(gòu)真空...

管式電阻爐適用于各種小型零件、彈簧、模具熱處理

管式電阻爐采用先進(jìn)技術(shù)研制開發(fā)的高性能高節(jié)能的新型電爐，有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等。主要應(yīng)用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。管式爐現(xiàn)已廣泛用于很多行業(yè)，用來測定材料在一定氣溫條件下的專業(yè)設(shè)備，為了使其更好地使用和發(fā)揮作用，首先要做好設(shè)備的安裝。可放置在工作臺上，以適合工作。人員的操作高度，工作臺的有...

看了這篇文章讓你使用CVD管式爐遇到這些問題不再束手無策

CVD管式爐是測定材料在一定氣溫條件下的專業(yè)設(shè)備操作較為容易方便于控制，能連續(xù)進(jìn)行生產(chǎn)主要是應(yīng)用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好。CVD管式爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。在我們?nèi)粘Ｊ褂谜婵展苁綘t的過程中也會遇到一些問題故障的現(xiàn)象，那么我們遇到這些問題故障時如何解決呢？下面小編就跟大家講一講吧1、在高溫試驗中，如溫度變化達(dá)不到試驗...